第435章 第一台国产光刻机(第2/3 页)
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是足足有余了。当然,对方说的也只是理论最小精度,毕竟理论和现实还是有相当差距的。
“那加工速度怎么样?曝光时间多少?”
“图案曝光三十秒左右,加工速度就不好说了,速度要看掩膜板的数量和晶圆面积,还要计算人工流程的停机时间。如果以十张掩膜板为例,停机时间,算上晶圆尺寸……每台机器每小时大概能生产八十颗左右的半导体,算上良品率大概能有五十颗吧!当然工艺更复杂的情况下就不好说了。每小时三四十颗或这十几二十颗也是可能的,主要还是要看工艺。”
袁枫点了点头,按理说二十张板的话,一台机器,一小时能生产三四十颗芯片也算行了。就算现在的机器性能不行,只能开半天机,每天起码也能生产三四百颗,一年起码十万颗,十台机器年产能就是一百万,五百万芯片产能的话,五十台机器�
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